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Stabiler korrosionsbeständiger Drucksensor für die chemische Verfahrenstechnik
Author(s) -
Klausmann Lukas
Publication year - 1997
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19970090207
Subject(s) - physics
Es wird ein keramischer Drucksensor, der nach dem kapazitiven Meßprinzip arbeitet, beschrieben. Dieser Sensor hat sich in unterschiedlichen Anwendungsgebieten, so zum Beispiel in der chemischen Verfahrenstechnik, als präziser und zuverlässig arbeitender Sensor bewährt. Die Vorteile des Sensors werden dargestellt. Als Auswerteelektronik wird ein kundenspezifischer Schaltkreis (ASIC) eingesetzt. Die neuesten Entwicklungen hinsichtlich des Sensorelementes und der Auswerteelektronik werden aufgezeigt. Dadurch ergeben sich für den Sensor neue Applikationsfelder.