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Meßmethoden der modernen Oberflächen‐ und Dünnschichtanalytik
Author(s) -
Bartella Joachim
Publication year - 1997
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19970090108
Subject(s) - physics , chemistry
Oberflächen‐ und Dünnschichttechnologie benötigen Meßverfahren, um die Zusammensetzungen nur nanometerdicker Bereiche mit höchster Genauigkeit bestimmen zu können. Moderne kommerziell erhältliche Verfahren erlauben Stöchiometriebestimmungen mit ppb‐Empfindlichkeit, Bestimmung des chemischen Bindungszustandes oder Messung von Elementverteilungen. Die Tiefenprofilanalytik ermittelt den Aufbau komplexer Vielschichtsysteme auch bei analytisch schwierigen Proben wie elektrischen Isolatoren oder thermisch empfindlichen Kunststoffen.