Optisch dünne Schichten aus Sicht eines Anwenders

Optisch dünne Schichten finden u.a. in der Feinoptik Anwendung. Insbesondere ist ihre Wirkung bei mehrlinsigen optischen Systemen wichtig. In speziellen Anlagen werden Materialien verdampft, die auf Substraten zu dünnen Schichten kondensieren. Aber auch die Arbeitsschritte Reinigen vor und Glätten nach dem Aufdampfen gehören zum Ablauf einer Dünnschichtfertigung. Die Vorteile der ionenunterstützten Beschichtung führen dazu, daß dieses Aufdampfverfahren zunehmend die konventionelle Bedampfung von geheizten Substraten ablöst (siehe auch [1]).