Premium
Ausgasungsmessungen von Metallen, Plasten und Kohlenstoff
Author(s) -
Schindler N.
Publication year - 1996
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19960080409
Subject(s) - physics , chemistry
Es wird eine Meßapparatur zur gasartselektiven Gasabgabemessung vorgestellt und die notwendige Meßdatenaufbereitung beschrieben. Die damit gemessenen partiallen und totalen Gasabgaberaten von einigen wichtigen Metallen, Plasten, Kohlenstoffen und Schichten nach verschiedenen Vorbehandlungen werden dargestellt. Diese Gasabgaberaten werden quantitativ verglichen und qualitativ ausgewertet. Für jedes Gas wurde eine separate Leitwertkorrektur vorgenommen. Für Metalle wurde der Einfluß von gasabgabereduzierenden Schichten und von Reinigungsprozeduren untersucht. Die Messungen an verschiedenen Plasten zeigen den jeweiligen Anteil von Kohlenwasserstoffen an der Gesamtausgasung dieser Stoffe. Für Messungen an Graphitproben wird der Anteil der Wasserstoffausgasung diskutiert.