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Integration von Mikromechanik und Elektronik
Author(s) -
Biebl Markus
Publication year - 1996
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19960080406
Subject(s) - physics , materials science , humanities , philosophy
Die Oberflächen‐Mikromechanik erlaubt die Herstellung komplexer mechanischer Strukturen mit Dimensionen im Mikrometer‐ Bereich. In diesem Artikel werden zunächst die Grundzüge der Technologie der Oberflächen‐Mikromechanik dargestellt. Die Adhäsion der Strukturen wird als Beispiel für zu lösende Probleme bei der Herstellung mikromechanischer Systeme aufgezeigt. Mikromechanischer Resonatoren als Teststrukturen zur Bestimmung mechanischer Parameter werden vorgestellt. Schließlich wird auf die kostengünstige monolithische Integration mit CMOS‐Elektronik eingegangen.