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Stabilität von Hochvakuum‐Meßröhren
Author(s) -
Schmidt Karl,
Bergner Ute
Publication year - 1996
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19960080309
Subject(s) - gynecology , physics , medicine
Zusammenfassung Ionisationsmanometer mit Glükathode und Kaltkathode werden in großer Zahl in Industrie und Forschung zur Druckmessung im Hoch‐ und Ultrahoch‐Vakuum eingestzt. Wichtige Einsatzgebiete sind z. B. Sputter‐ und Bedampfungsanlagen. Stillschweigend wird dabei seit langem akzeptiert, daß in diesen tiefen Druckbereichen Meßfehler zwischen 10% und 100% mit herkömmlichen lonisationsmanometern keine Seltenheit sind. Ursache ist die mangelnde Langzeitstabilität konventioneller Ionisationsmanometer. Zusammenfassung Wenn es bei der Druckmessung auf Genauigkeit und Reproduzierbarkeit ankommt, spielt die zeitliche Stabilität der Meßröhre eine entscheidende Rolle. Nur eine stabile Meßröhre gewährleistet eine sichere Steuerung von Prozeßabläfen. Auch soll ein Austausch einzelner Meßröhren zu keiner Änderung bei der Druckmessung führen, da sonst langwierige und kostenintensive Neukalibrierungen nötig werden. In diesem Artikel wird über Messungen an Bayard‐Alpert‐ und Penning‐ Röhren berichtet, die das Stabilitätsverhalten dieser Röhren über Zeiträume von mehreren Monaten untersuchen. Ursachen für die beobachteten zeitlichen Änderungen werden diskutiert. Eine speziell für hohe Stabilität entwickelte Bayard‐Alpert‐Meßröhre (STBILION) vermeidet bzw. reduziert diese Ursachen. Als Folge ergibt sich eine wesentlich bessere Langzeitstabilität verglichen mit herkömmlichen Meßröhren.