Überlastgrenzen bei Hochvakuumpumpen

Hochvakuumpumpen besitzen einen maximalen Einlaßdruck, oberhalb dessen sie nicht mehr ordnungsgemäß funktionieren. Für den Betrieb einer Vakuumanlage ist es wichtig, eine Annäherung an die Überlastgrenzen zu erkennen und entsprechend zu reagieren. Der vorliegende Aufsatz beschäftigt sich mit grundlegenden Überlegungen, ab welchem Druck eine Hochvakuumpumpe eingesetzt wird, wobei die besondere Bedeutung des Gasdurchflusses gegenüber der Bedeutung des Drucks herausgearbeitet wird. Der Umschaltpunkt zwischen Grob‐Pumpe und Hochvakuum‐Pumpe hängt vom Verhältnis der Saugvermögen beider Pumpen ab. Es werden praktische Empfehlungen für die Auslegung und den Betrieb von Anlagen gegeben. Eine Überlastung von Hochvakuum‐Pumpen kann zu Problemen führen (z. B. Rückströmung und Ölverlust) sowohl bei gastransportierenden Pumpen (Diffusions‐ und Turbomolekular‐Pumpen) als auch bei gasbindenden Pumpen (Ionenzerstäüber‐ und Kryo‐Pumpen). Um diese zu vermeiden, sollte der vorübergehende Druckanstieg während des Umschaltens nicht länger als einige Sekunden anhalten.