Die Entwicklung der Totaldruckmessung im Ultrahochvakuum‐ und Extremvakuumbereich

Obwohl man Ultrahochvakuum bereits vor fast 60 Jahren erzeugen konnte, war eine kontinuierliche Messung erst durch die Entwicklung eines speziellen Glühkatoden‐Ionisationsmanometers durch Bayard und Alpert möglich. Ursachen für die untere Druckmeßgrenze sind vor allem der durch Röntgenstrahlung erzeugte Photoelektronenstrom und der Desorbationenstrom. Manometerkonstruktionen, die diese Effekte reduzieren, um sogar extremes Hochvakuum (XHV) messen zu können, werden vorgestellt. Die im XHV‐Bereich zu erwartenden kleinsten Ionenströme werden mit kontinuierlichen Sekundärelektronenvervielfachern gemessen. Auch besondere Bauformen von Kaltkatoden‐Ionisationsmanometern sind für den UHV‐Bereich geeignet.