Das Drehscheiben‐Vakuummeter als primäres Totaldruckmeßgerät im Hochvakuum

Ein primäres Vakuummeter wurde entwickelt, das das Phänomen der Gasreibung zwischen zwei koaxialen Scheiben ausnutzt. Das Gerät besteht aus einer Siliziumscheibe mit 92 mm Durchmesser, die von einem kalibrierten Torsionsfaden über einer Rotorscheibe von gleicher Größe gehalten wird. Diese dreht sich mit Drehzahlen bis zu 51000 min −1 . Moleküle, die den Rotor verlassen, übertragen durch die Gasreibung ein Drehmoment auf die aufgehängte Scheibe. Die dadurch verursachte Auslenkung wird optisch gemessen und beträgt 2° bei 10 −6 mbar. Die für eine primäre Messung relevanten Faktoren wie Geometrie, Randeffekte und Akkommodationskoeffizient werden in diesem Artikel diskutiert. Der experimentelle Vergleich mit einem kommerziellen Gasreibungs‐Vakuummeter zeigt die universelle Anwendbarkeit des Drehscheiben‐Vakuummeters für primäre Totaldruckmessung im Hochvakuum mit einer Genauigkeit ±3% im 10 −6 mbar Bereich.