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Kathodenzerstäubung und ihre Anwendung in der Dünnschichttechnologie
Author(s) -
Teves Heinz
Publication year - 1990
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19900020107
Subject(s) - materials science , physics
Es existieren verschiedene Varianten der Kathodenzerstäubung zur Herstellung von dünnen Schichten im Vakuum. Die oft angewendete Diodenzerstäubung mit Gleichspannung oder Hochfrequenz, mit und ohne Magnetfeldunterstützung, die reaktive Zerstäubung und das Zerstäuben mit Vorspannung am Substrat werden beschrieben. Grundsätzliche Betrachtungen zum Aufbau von Kathodenzerstäubungsanlagen werden an‐ und die Vorteile dieses Beschichtungsverfahrens herausgestellt.