Ergebnisse eines Ringversuchs zur Bestimmung magnetischer Streufelder in Elektronenstrahlmikroanalysatoren

Die Elektronenstrahlmikroanalyse ferromagnetischer Werkstoffe kann durch magnetische Streufelder, die infolge einer ungenügenden Abschirmung der elektromagnetischen Linsen auftreten, stark verfälscht werden. Es kommt zu Strahlauswanderungen, die, in Abhängigkeit vom Meßort auf der Probe, im Bereich von 100 μm liegen können. In einem Ringversuch des Arbeitskreises Elektronenstrahl‐Mikroanalyse des VDEh wurden mit einer definierten Stahlprobe die Geräte der 13 beteiligten Labore auf magnetische Streufelder hin untersucht.