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Elektronenstrahl‐Mikroanalytik elektrisch nichtleitender Proben leichter Elemente am Beispiel von Oxiden
Author(s) -
Weisweiler Werner
Publication year - 1974
Publication title -
archiv für das eisenhüttenwesen
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1869-344X
pISSN - 0003-8962
DOI - 10.1002/srin.197404560
Subject(s) - chemistry , analytical chemistry (journal) , materials science , nuclear chemistry , chromatography
Quantitative Elementaranalyse im Mikronbereich von elektrisch nichtleitenden Proben wie Oxide. Aufdampfen leitfähiger Filme aus Kupfer. Bestimmung der Schichtdicke. Messung der Intensitätsbeeinflussung der durch Elektronenbeschuß angeregten charakteristischen Röntgenstrahlung. Theoretische Nachrechnung. Effekt der zusätzlichen Absorption von Analysenstrahlung sowie Verminderung des effektiven Anregungsvolumens durch die Aufdampfschicht. Vorteil der gemeinsamen Bedampfung von Probe und Standard. Intensitätskorrektur bei Metallanalysen vernachlässigbar, bei der Vollanalyse auf Sauerstoff bis 15% Abweichung. Angabe einer einfachen Abschätzung für die Praxis.