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Selbstorganisation in der Nanowelt: Nanostrukturierung
Author(s) -
Teichert Christian
Publication year - 2003
Publication title -
physik in unserer zeit
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3943
pISSN - 0031-9252
DOI - 10.1002/piuz.200301019
Subject(s) - physics , materials science
Die Mikroelekronik steuert auf kleinste Nanostrukturen zu, die heutige lithographische Verfahren nicht mehr erzeugen können. Einen Ausweg bieten Selbstorganisationsprozesse. Mit ihnen sind im Prinzip großflächige Anordnungen von Nanostrukturen auf Silizium‐Wafern erreichbar. Ein Weg ist das heteroepitaktische Aufwachsen von Filmen, deren Kristallgitter vom Silizium abweicht. Ein anderer Weg nutzt aus, dass Ionenstrahlen die Oberflächen ausgeprägt strukturieren können. Beide Wege erlauben es, nur mit einer Materialklasse einen Fülle von Nanostrukturen zu erzeugen. Diese eignen sich für viele Anwendungen: Sie reichen von der Optoelektronik über magnetische Datenspeicher bis zu flächig angeordneten organischen Nanostrukturen.