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Nanolithographie mit Zukunft
Author(s) -
Heinzel Thomas,
Held Ryan,
Lüscher Silvia,
Ensslin Klaus
Publication year - 1999
Publication title -
physik in unserer zeit
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3943
pISSN - 0031-9252
DOI - 10.1002/piuz.19990300502
Subject(s) - physics
Elektronische Bauelemente können heute mit Rasterkraftmikroskopen hergestellt werden. Die Methode ist nicht nur sehr einfach, sie zeichnet sich auch durch ‐ im Prinzip ‐ atomare Auflösung aus und könnte daher die herkömmlichen Verfahren zur Herstellung ultrakleiner Bauelemente einmal ablösen.