z-logo
Premium
Nanolithographie mit Zukunft
Author(s) -
Heinzel Thomas,
Held Ryan,
Lüscher Silvia,
Ensslin Klaus
Publication year - 1999
Publication title -
physik in unserer zeit
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3943
pISSN - 0031-9252
DOI - 10.1002/piuz.19990300502
Subject(s) - physics
Elektronische Bauelemente können heute mit Rasterkraftmikroskopen hergestellt werden. Die Methode ist nicht nur sehr einfach, sie zeichnet sich auch durch ‐ im Prinzip ‐ atomare Auflösung aus und könnte daher die herkömmlichen Verfahren zur Herstellung ultrakleiner Bauelemente einmal ablösen.

This content is not available in your region!

Continue researching here.

Having issues? You can contact us here