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Filigrane Mikromaschinen
Author(s) -
Drach Volker
Publication year - 1996
Publication title -
physik in unserer zeit
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3943
pISSN - 0031-9252
DOI - 10.1002/piuz.19960270311
Subject(s) - physics
Dreidimensionale mechanische Strukturen mit Abmessungen im Mikrometerbereich lassen sich mittels Laser‐unterstützter Abscheidung aus einer reaktiven Gasphase herstellen. Einfache geometrische Gebilde, wie Fasern oder Mikrofedern, ließen sich damit bisher fertigen [1]. Über die Herstellung komplexerer Mikrostrukturen, die sich außerdem kontaktlos durch Lasereinstrahlung in definierter Weise bewegen lassen, berichteten nun Olaf Lehmann und Michael Stuke vom Max‐Planck‐Institut für Biolphysikalische Chemie in Göttingen [2].

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