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Festkörperanalytik mit dem Ionenbeschleuniger
Author(s) -
Lang Walter,
Iberl Franz,
Weidhaas Jens
Publication year - 1991
Publication title -
physik in unserer zeit
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3943
pISSN - 0031-9252
DOI - 10.1002/piuz.19910220208
Subject(s) - materials science , physics
Abstract Durch den Beschuß mit Ionen im Energiebereich von einigen MeV kann die chemische Zusammensetzung und der Aufbau von Festkörpern, dünnen Schichten und Oberflächen analysiert werden.