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Augerelektronen‐Spektroskopie (AES)
Author(s) -
Jitschin Wolfgang
Publication year - 1989
Publication title -
physik in unserer zeit
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3943
pISSN - 0031-9252
DOI - 10.1002/piuz.19890200202
Subject(s) - materials science
Als quantitatives Analyseverfahren erlaubt die AES die Analyse von Oberflächen bis zu einer Tiefe von ca. 1 nm, mit einer lateralen Auflösung von 100 nm und einer Nachweisempfindlichkeit noch unterhalb 1% Anteil.