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Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen: Wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer‐Lithographie nutzen kann
Author(s) -
Burmeister Frank,
Boneberg Johannes,
Leiderer Paul
Publication year - 2000
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.20000560412
Subject(s) - die (integrated circuit) , philosophy , materials science , nanotechnology
Abstract Nanostrukturen sind zurzeit in aller Munde, da man von ihnen neuartige physikalische und chemische Eigenschaften erwartet. Zur Erzeugung solcher Strukturen mit Größen von wenigen hundert Nanometern und darunter werden ganz unterschiedliche Lithographieverfahren eingesetzt. Dabei sind meist aufwändige Apparaturen notwendig, um größere nanostrukturierte Bereiche zu erhalten. Im Folgenden stellen wir einen alternativen, technisch einfachen Ansatz vor, bei dem ein durch Kapillarkräfte induzierter, selbstorganisierter Prozess für die Herstellung von Nanostrukturen ausgenutzt wird.