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Mikrostrukturierung mit ultrakurzen Laserpulsen
Author(s) -
Nolte Stefan,
Momma Carsten,
Chichkov Boris N.,
Welling Herbert
Publication year - 1999
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.19990550611
Subject(s) - physics , materials science
Ultrakurze Laserpulse ermöglichen für nahezu alle Materialien eine extrem feine Mikrostrukturierung, gekennzeichnet durch sehr hohe Reproduzierbarkeit sowie minimale thermische und mechanische Schädigung. Während die Genauigkeit der mit dieser Technik im Fernfeld erzielbaren Strukturen nur durch das Beugungslimit begrenzt ist, erlaubt die Bearbeitung im Nahfeld, sogar noch kleinere Strukturen zu erzeugen.