Beratender Ausschuß Der Industriephysiker: Dünnschichtsysteme für passive Bauelemente

Abstract In den letzten fünf bis zehn Jahren erzielte die Elektronikbranche bei tragbaren elektronischen Geräten, besonders in den Bereichen Datenverarbeitung und Telekommunikation, Wachstumsraten von 5 bis 10 % pro Jahr. Diesen Erfolg verdankt sie zu einem großen Teil der zunehmenden Miniaturisierung mikroelektronischer Schaltungen, die neben ICs zu über 70 % aus passiven Bauelementen wie Kondensatoren, Widerständen und Spulen bestehen. Um den Anforderungen an Kompaktheit und Funktionalität Rechnung zu tragen, entwickeln wir miniaturisierte passive Bauelemente auf der Basis von Dünnschichtsystemen. Mit modernen Verfahren lassen sich inzwischen passive Bauelemente mit kleinen lateralen Abmessungen sowie integrierte passive Module mit hoher Komponentendichte herstellen.