Die Renaissance der stillen elektrischen Entladung

Vor weit über hundert Jahren erkannte Werner von Siemens, daß sich mit einer „stillen” oder dielektrisch behinderten Entladung Ozon aus dem Luftsauerstoff gewinnen läßt. Das bessere Verständnis der plasmaphysikalischen Vorgänge und der Einsatz moderner Hochleistungsthyristoren führten in den letzten Jahren zum Bau von Ozonanlagen mit einer Kapazität von mehreren Tonnen pro Tag. Der stillen Entladung haben sich aber auch ganz neue Anwendungen eröffnet, z. B. in UV‐Strahlungsquellen und CO 2 ‐Lasern, zur Abgasreinigung oder zur Plasmakatalyse von Methanol.