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Kleben ohne Klebstoff: Verbinden von Festkörpern durch Monolagen
Author(s) -
Gösele U.,
Reiche M.,
Tong Q.Y.
Publication year - 1994
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.19940500911
Subject(s) - physics
Das Verbinden oder Zusammenfügen von Festkörpern spielt in zahlreichen technischen Anwendungen eine wesentliche Rolle. Stabile Festkörperverbünde werden gemeinhin durch Schweißen, also eine Behandlung der Verbindungsgrenzfläche bei hohen Temperaturen, oder durch Einbringen einer makroskopischen Zwischenschicht, wie beim Löten oder Kleben, erreicht. In den letzten Jahren hat sich das großflächige Verbinden von polierten Halbleiterscheiben über Adhäsionskräfte („wafer bonding”) als technologisch vielversprechend herausgestellt.

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