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Neue Mikrofone: Ein aktuelles Gebiet der physikalischen Sensorik
Author(s) -
Sessler G. M.
Publication year - 1993
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.19930490208
Subject(s) - physics , humanities , philosophy
Abstract Die Entwicklungen in der Sensorik haben auch bei den Schallwandlern zu bemerkenswerten Neuerungen geführt. Repräsentativ dafür stehen Lichtwellenleiter‐Mikrofone und Siliziummikrofone. In den Lichtwellenleiter‐Mikrofonen bewirkt der Schalldruck eine Phasen‐ oder Intensitätsmodulation der in einem optischen Wellenleiter geführten Lichtwelle und wird dadurch detektierbar. Siliziummikrofone werden mit den Methoden der Mikromechanik hergestellt und arbeiten nach dem kapazitiven, piezoelektrischen oder piezoresistiven Prinzip.