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Die dritte Dimension in der Mikroelektronik
Author(s) -
Götzlich J.
Publication year - 1988
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.19880441006
Subject(s) - physics , art
Heutige mikroelektronische Bauelemente weisen z. T. bereits Strukturen von 1 μm und darunter auf. Dadurch werden in zunehmendem Maße Grenzen sichtbar, die sowohl von der Fertigbarkeit als auch der Halbleiterphysik vorgegeben werden. Um dennoch auf dem Weg zu höheren Integrationsgraden weiterzukommen, werden zunehmend dreidimensionale Strukturen und Anordnungen von Bauelementen untersucht und bei der Speicherentwicklung bereits angewendet.