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Elektronenstrahl‐Meßtechnik zur Prüfung integrierter Schaltungen
Author(s) -
Rehme Hans
Publication year - 1982
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.19820380804
Subject(s) - political science
Die Entwicklung von immer höher integrierten Schaltungen macht den Einsatz entsprechend empfindlicher Prüfmethoden erforderlich. Im folgenden Artikel werden elektronenoptische Verfahren beschrieben, die es gestatten, statische und dynamische elektrische Potentiale an beliebigen Punkten einer integrierten Schaltung zu messen. Dabei fungiert ein Elektronenstrahl als berührungslos und zerstörungsfrei arbeitende Meßsonde. Wie leistungsfähig die neue Meβtechnik ist, wird anhand einiger Beispiele gezeigt.