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Messung der Unterdiffusion mit dem Rasterelektronenmikroskop
Author(s) -
Hersener Jürgen
Publication year - 1981
Publication title -
physikalische blätter
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3722
pISSN - 0031-9279
DOI - 10.1002/phbl.19810371008
Subject(s) - physics
Dimensionsverkleinerung und Erhöhung der Packungsdichte führen bei MOS‐Schaltungen zu Problemen, deren Ursache die laterale Ausdehnung der Diffusionszonen ist. Zu ihrer Lösung ist die genaue Kenntnis der Unterdiffusion in Abhängigkeit von anderen technologischen Parametern notwendig. Eine schnelle und genaue Messung dieser Größe gestattet die EBIC‐Methode im Rasterelektronenmikroskop.