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Einfluss verschiedener Randbedingungen auf die Topographie der Strömung in einer Czochralski Simulation
Author(s) -
Aleksic Jelena,
Szymczyk Janusz A.,
Leder Alfred
Publication year - 2003
Publication title -
pamm
Language(s) - German
Resource type - Journals
ISSN - 1617-7061
DOI - 10.1002/pamm.200310119
Subject(s) - theology , art , physics , philosophy , art history
Das CzochralskiVerfahren ist die häufigste Methode zur Züchtung großer Halbleitereinkristallen. Unter dem Einfluss von thermischen, kinematischen und geometrischen Randbedingungen werden in der Schmelze thermokapillare, thermische und erzwungene Konvektion induziert. Thermokapillare Konvektion entsteht durch Grenzflächenspannungsgradienten an der freien Oberfläche und ist ein Antriebsmechanismus des Phänomens. Das führt zu einer Grenzflächenbewegung, die gleichzeitig aufgrund von Reibung einen Impulstransport in den tieferliegenden Flüssigkeitsschichten verursacht. Mittels optischer Ganzfeldverfahren und der Flüssigkristalle werden für verschiedene Prandtl-, Reynolds-, Marangoniund Bondzahlen die Temperaturund Geschwindigkeitsfelder quantitativ bestimmt und die Topographie der Strömung erklärt.