Open AccessPiezo‐Scantische für höchste Präzision und Dynamik
Author(s) -
Hamann Gernot,
Reiff EllenChristine
Publication year - 2014
Publication title -
optik & photonik
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 2191-1975
pISSN - 1863-1460
DOI - 10.1002/opph.201300038
Subject(s) - political science , humanities , physics , philosophy
Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie. Piezobasierte Scantische sind aus solchen Anwendungsbereichen kaum mehr wegzudenken. Durch ihre hohe Genauigkeit und Dynamik erschließen sie oftmals neue Möglichkeiten und treiben die Technik voran.