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Neue optische Beschichtungen
Author(s) -
Ehlers Henrik,
Lappschies Marc,
Beermann Nils,
Ristau Detlev
Publication year - 2007
Publication title -
optik & photonik
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 2191-1975
pISSN - 1863-1460
DOI - 10.1002/opph.201190268
Subject(s) - gynecology , physics , medicine
Gegenwärtig gilt das Ionenstrahl‐Zerstäuben (Ion Beam Sputtering, IBS) als das Beschichtungsverfahren der Wahl, wenn im Bereich der optischen Beschichtungen höchste Qualitätsansprüche erfüllt werden müssen. In jüngster Zeit konnte das IBS‐Verfahren durch Kombination mit neuen Prozesskontrolltechniken und Materialmischtechniken für die Herstellung von Rugate‐Filtern mit kontinuierlichen Brechungsindexverläufen in seiner Anwendungsbreite noch einmal deutlich gesteigert werden.

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