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Nutzung von Werkstoffstrukturgrößen als Messnormale
Author(s) -
Spieß L.,
Knedlik Ch.
Publication year - 2003
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/mawe.200390130
Subject(s) - political science , humanities , physics , gynecology , philosophy , medicine
Messen von Längen ist ein Vergleichen/Bewerten von erhaltenen Messsignalen mit einem Standard/Kalibriermassstab. Die Nanotechnik erfordert Messgenauigkeiten vom Submeter bis zum Nanometerbereich, d. h. ein Überstreichen von 9 Größenordnungen. Messmarken und mögliche Messnormale werden nach ihren Erfordernissen klassifiziert und auf Anforderungen, Genauigkeit, Stabilität, Datenmengen und Machbarkeit analysiert. Für eine Nanopositionier‐ und –messmaschine werden Vorschläge für eine Realisierbarkeit zusammengefasst.