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Elektronenstrahlbehandlung von PVD‐Hartstoffschichten
Author(s) -
Spies H.J.,
Friedrich S.,
Buchwalder A.
Publication year - 2003
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/mawe.200390004
Subject(s) - die (integrated circuit) , chemistry , materials science , nanotechnology
Zur Untersuchung der Wirkung einer Elektronenstrahlbehandlung auf die Struktur und die Eigenschaften hartstoffbeschichteter Stähle wurden Schichten des Typs CrN x , (Ti, Cr)N, (Ti, Al)N, Ti(C, N) und Ti(B, N) auf dem vergüteten Stahl C45 abgeschieden. Die Untersuchung des thermischen Verhaltens der Hartstoffschichten erfolgte durch einen gezielt variierten Energieeintrag und Einfrieren der Gefügeänderungen durch eine Selbstabschreckung. Eine parallel zur Schichtbehandlung auftretende unterschiedliche Härtung der Randschicht des Substrates bewirkte eine differenzierte Abstützung der Hartstoffschicht. Die thermische Stabilität der Hartstoffschichten unterscheidet sich beträchtlich. Die Oberflächenhärte, die Schichthaftung und die Verschleißbeständigkeit des Substrat‐Schicht‐Verbundes wurden in Abhängigkeit vom Energieeintrag erhöht. Die Anwendung von Elektronenstrahltechnologien ermöglicht auf diese Weise die Erzeugung von Stützschichten, die lokal die Beanspruchbarkeit hartstoffbeschichteter Stähle verbessern.