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Quantitative Analyse von nichtstöchiometrischen Titannitrid‐Schichten
Author(s) -
Stock H.R.,
Höhl F.,
Mayr P.
Publication year - 1995
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/mawe.19950260108
Subject(s) - chemistry
Stahlbleche wurden mittles Gleichstrom‐Magnetron‐Sputtern mit Titannitrid beschichtet. Durch Variation des Stickstoffdurchflusses konnten Schichten mit unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung erhalten werden. Die Schichten wurden mittels Gimmentladungsspektroskopie und einer naßchemischen Methode quantitativ analysiert. Für die naßchemische Analyse wurden die Schichten vom Substrat getrennt, aufgeschlossen und nachfolgend die Elemente Titan mittels Atomabsorptionsspektroskopie und Stickstoff nach Kjeldahl bestimmt. Die Analysenergebnisse zeigen signifikante Unterschiede zwischen den beiden Verfahren, die durch die unterschiedlichen verwendeten Standards verursacht werden. So ergibt die GDOS‐Analyse im Vergleich zur naßchemischen Analyse für unterstöchiometrische TiN x ‐Schichten (x < 1) zu niedrige Stickstoffgehalte und für etwa stöchiometrische Schichten (x ≈ 1) zu hohe. Aufgrund der Standards kann geschlossen werden, daß die naßchemische Analyse mit einem geringeren systematischen Fehler behaftet ist. Sie ist aber in der Handhabbarkeit der GDOS‐Analyse weit unterlegen und eignet sich damit besser für die Kalibration von speziellen Proben, die nachfolgend bei der GDOS‐Analyse als Standard eingesetzt werden können.

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