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Abscheidung von Hartstoffschichten des Typs (B,C,N) bei niedrigen Beschichtungstemperaturen im PACVD‐Prozeß
Author(s) -
Rie K.T.,
Gebauer A.,
Wöhle J.,
Erker G.,
Mohr R.,
Sarter C.
Publication year - 1994
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/mawe.19940251107
Subject(s) - chemistry
In dieser Studie wurde die Abscheidung von (B,C,N)‐Schichten unter Verwendung der auf einem, neuen Syntheseweg dargestellten metallorganischen Verbindung C 8 H 18 BN im DC‐Puls‐PACVD‐Prozeß bei niedrigen Beschichtungstermperaturen (250°C) unter‐sucht. Es konnte gezeigt werden, daß doe Herstellung von (B,C,N)‐Schichten mit guter Härte und Haftfestigkeit im betrachteten Parameterraum möglich ist.