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Laserinterferometer zur berührungslosen Messung von Längenänderungen im Nanometer‐Bereich
Author(s) -
Zagar B.,
Weiss H.,
Chen D. L.,
Hödl H.,
Weiss B.,
Stickler R.
Publication year - 1992
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/mawe.19920230603
Subject(s) - physics , materials science
Ein Laser‐Interferometer mit einem rechnergestützten Auswerteverfahren wurde in einer Prototypentwicklung an eine kommerzielle Zugprüfmaschine angepaßt und erprobt. Mit Hilfe von als Meßmarken dienenden Mikrohärteeindrücken erlaubt dieses Meßsystem. Abstandsänderungen mit einer Auflösung von etwa 1 Nanometer zu bestimmen. Die Funktionsfähigkeit dieser Meßanordnung wird an Beispielen der E‐Modulmessung der Bestimmung des Rißöffnungsverhaltens und des Wärmeausdehnungs‐koeffizienten von Cu‐Proben demonstriert.