Eigenspannungen, Haftfestigkeit und Verschleißeigenschaften von gesputterten, amorphen Aluminiumoxidschichten

Mit Hilfe des reaktiven Hochfrequenz‐Magnetronkathodenzerstäubungsverfahrens wurden dünne Aluminiumoxidschichten auf Stahlsubstraten abgeschieden. Aufgrund der relativ niedrigen Substrattemperaturen (< etwa 250°C) zeigen die Schichten eine amorphe Röntgenstruktur. Messungen der Schichteigenspannungen, die mittels der Biegestreifenmethode durchgeführt wurden, zeigten, daß sowohl von der Schichtdicke als auch von Beschichtungsdruck und ‐leistung starke Einflüsse auf den Eigenspannungszustand ausgehen. Darüberhinaus konnten Abhängigkeiten zwischen Schichthaftungsverhalten und den inneren Spannungen der Schichten nachgewiesen werden. Neben dem Ritztestversuch diente das Ablöseverhalten der Schichten im Kerbschlagbiegeversuch als Haftungskriterium. Die Ergebnisse beider Verfahren befinden sich in guter Übereinstimmung. Einige der Schichten wurden ersten Verschleißuntersuchungen unterworfen. Die Schichten zeigten unter den gewählten Modellverschleißbedingungen ein gutes Verschleißverhalten.