Mikrobereichs‐ und Oberflächenanalyse in der Werkstoff‐Forschung

Abstract Die Eignung und die Grenzen der Verfahren der Mikrobereichs‐ und Oberflächenanalyse für die Untersuchung von Werkstoffproblemen werden unter Anwendung von, der analytischen Chemie analogen, Kriterien diskutiert. In die Betrachtungen einbezogen werden die Elektronenstrahl‐Mikroanalyse (ESMA), die Auger Elektronen Spektroskopie (AES), die Röntgenphotoelektronen Spektroskopie (XPS) sowie die Röntgen‐Mikroanalyse (EDX) und die Elektronen‐Energieverlust Spektroskopie (EELS) in der analytischen Transmissions‐Elektronen‐Mikroskopie (ATEM). Als Kriterien für die Einsetzbarkeit dieser Verfahren in der Werkstoff‐Forschung werden die allgemeine Anwendbarkeit, die Nachweisgrenze, die Reproduzierbarkeit, die quantitative Analyse, die Ortsauflösung und die bindungsspezifischen Informationen betrachtet.