Eine Methode zur Bestimmung von Wasserstoff, Sauerstoff und Stickstoff in niedrig sublimierenden Substanzen

Mit Hilfe eines Extraktionsverfahrens mit spezieller Tiegel‐Filter‐Anordnung ist es möglich, Gasgehalte im ppm‐Bereich von Substanzen zu bestimmen, die bei niedrigen Temperaturen sublimieren. Die Vorteile der Hochvakuumentgasung mit massenspektrometrischer Gasanalyse, d. h. Erfassung aller Gaskomponenten bei einer einzigen Messung, werden bei diesem Verfahren ausgenutzt. Das Prinzip des Verfahrens sowie eine unter diesen Gesichtspunkten konstruierte und gebaute Extraktionsanlage werden beschrieben, und es werden Meßergebnisse von Gasgehaltsbestimmungen an den Substanzen Bi, Se, Te, Pb, Sb und GaAs mitgeteilt.