Ellipsometrische Untersuchungen zur Einwirkung von Luft unterschiedlicher Feuchtigkeit auf unlegierten Stahl

Durch Anwendung der Ellipsometrie wurde die Dicke des Oxidfilmes, der sich auf der Oberfläche von unlegiertem Stahl St‐38 an trockener Luft bildet, mit hinreichender Genauigkeit gemessen. Sie beträgt 3,5 bis 4,5 nm. Außerdem konnte gezeigt werden, daß die Dicke dieses Primäroxides mit Zunahme der relativen Luftfeuchtigkeit (RL) zunimmt. Dabei konnte jedoch für jeden definierten Wert von (RL) eine neue stationäre Dicke dieses Oxidfilmes nachgewiesen werden, die von der Rauhigkeit der Substratoberfläche abhängt. Die ellipsometrischen Messsungen ergaben auch, daß Wasser auf dem Oxidfilm während der Exposition in feuchter Luft adsorbiert wird. Diese Adsorption hängt von der Dicke und Zusammensetzung der Oxidschicht ab.