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Zur plasmachemischen Umsetzung von GaAs mit CCl 4 und CF 2 Cl 2 in Gegenwart von Sauerstoff
Author(s) -
Prösch U.,
Buttke K.
Publication year - 1984
Publication title -
beiträge aus der plasmaphysik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.531
H-Index - 47
eISSN - 1521-3986
pISSN - 0005-8025
DOI - 10.1002/ctpp.19840240611
Subject(s) - chemistry , medicinal chemistry , physics
Es wurde der plasmachemische Abtrag von GaAs durch CCl 4 und CF 2 Cl 2 bei unterschiedlichen Leistungen eines 27,3 MHz Generators und unter Zusatz von Sauerstoff gemessen. Zur Interpretation der erhaltenen Ergebnisse wird ein einfaches kinetisches Modell vorgeschlagen.