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Reaktionskinetische Vorgänge an der Grenzfläche zwischen nichtisothermem Plasma und Feststoff
Author(s) -
Friedrich J.
Publication year - 1981
Publication title -
beiträge aus der plasmaphysik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.531
H-Index - 47
eISSN - 1521-3986
pISSN - 0005-8025
DOI - 10.1002/ctpp.19810210404
Subject(s) - chemistry
An der Grenzfläche nichtisothermes reaktives Molekülgasplasma – Feststoff bilden sich ätzgasspezifische funktionelle Gruppen durch Anlagerung von Plasmaspezies als Vorstufe für Abbauvorgänge (chemische Abbaureaktionen und Sputterprozesse) oder für die Bildung von (Polymer‐) Schichten. Die z. B. bei verschiedenen Polymeren beobachteten langsam fortschreitenden Veränderungen der Struktur in oberflächennahen Schichten, bis etwa max. 100 μm, werden durch die energiereiche Plasma‐Vakuum‐UV‐Strahlung hervorgerufen. Die Bildung funktioneller Gruppen an der Feststoffoberfläche vollzieht sich sehr rasch. Daran schließt sich eine Periode der langsamen Penetration von Plasmaspezies in die obersten Feststoffschichten an (nm‐Bereich). Der Abbau der Feststoffe verläuft nur dann nicht zeitlich linear, wenn der Festkörper eine schichtartige Struktur besitzt.