Reaktionskinetische Vorgänge an der Grenzfläche zwischen nichtisothermem Plasma und Feststoff

Abstract An der Grenzfläche nichtisothermes reaktives Molekülgasplasma – Feststoff bilden sich ätzgasspezifische funktionelle Gruppen durch Anlagerung von Plasmaspezies als Vorstufe für Abbauvorgänge (chemische Abbaureaktionen und Sputterprozesse) oder für die Bildung von (Polymer‐) Schichten. Die z. B. bei verschiedenen Polymeren beobachteten langsam fortschreitenden Veränderungen der Struktur in oberflächennahen Schichten, bis etwa max. 100 μm, werden durch die energiereiche Plasma‐Vakuum‐UV‐Strahlung hervorgerufen. Die Bildung funktioneller Gruppen an der Feststoffoberfläche vollzieht sich sehr rasch. Daran schließt sich eine Periode der langsamen Penetration von Plasmaspezies in die obersten Feststoffschichten an (nm‐Bereich). Der Abbau der Feststoffe verläuft nur dann nicht zeitlich linear, wenn der Festkörper eine schichtartige Struktur besitzt.