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Untersuchungen zum Einfluß der Plasmaparameter auf die Löslichkeit von Glimmpolymerschichten aus Hexamethyldisiloxan (HMDS)
Author(s) -
Schmidt M.,
Maass M.,
Möller W.
Publication year - 1979
Publication title -
beiträge aus der plasmaphysik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.531
H-Index - 47
eISSN - 1521-3986
pISSN - 0005-8025
DOI - 10.1002/ctpp.19790190306
Subject(s) - chemistry , philosophy
Durch Sondenmessungen an einer durchströmten Argon‐HMDS‐Glimmentladung bestimmte Werte für den axialen Potentialgradienten, die Temperatur und die Dichte der Elektronen erlauben eine Diskussion von Ursachen der Löslichkeitsänderung der unter diesen Bedingungen abgeschiedenen Glimmpolymerschichten. Es wird ein Modell vorgeschlagen, wonach das Absinken der Löslichkeit auf eine Mehrfachradikalbildung im Volumen zurückgeführt wird. Betrachtungen zum Energieumsatz bei der Schichtbildung werden durchgeführt.