Untersuchungen an polymerisierenden Plasmen der Benzol‐Edelgas‐Glimmentladung. Teil III Experimentelle und theoretische Untersuchungen zum Wachstum von Polymerschichten bei kleinen Benzolzumischungen (10–2%)

Im ersten Teil der vorliegenden Arbeit wird über Messungen der Wachstumsrate von Polymerschichten auf der Entladungsrohrwand im Bereich der positiven Säule in Neon ( p = 1,6 Torr, i = 2 mA) und in Argon ( p = 1,9 Torr, i = 2 mA) bei einem C 6 H 6 ‐Partialdruck von 4 · 10 −4 Torr berichtet. Die durchgeführten Berechnungen der Wachstumsraten aus den Plasmaparametern gehen von der Annahme aus, daß die Schichtbildung maßgeblich durch den radialen ambipolaren Diffusionsstrom der Elektronen und Ionen zur Rohrwand bestimmt wird. Entsprechend dieser Vorstellung erfolgt eine Modifizierung der Grundgleichungen, die in der Literatur bereits für die Elektronenstrahlpolymerisation bzw. für die Polymerisation auf den Elektroden von Gasentladungen hergeleitet wurden. Es zeigt sich, daß die Ionenkomponente um etwa den Faktor 8 wirksamer ist als die Elektronenkomponente. Diese Tatsache erklärt auch die Beobachtung, daß im Ar‐C 6 H 6 ‐Gemisch bei vergleichbaren Strom‐ und Druckbedingungen das Schichtwachstum merklich kleiner als im Ne‐C 6 H 6 ‐Gemisch ist.