Geschwindigkeitsverteilungsfunktion und Bilanzgrößen der Elektronen des anisothermen Argon‐Plasmas bei Ionisierungsgraden von 10 −9 bis 10 −2

Für reduzierte elektrische Feldstärken von 0,05 bis 20 V/(cm Torr) und Ionisierungsgrade von 10 −9 bis 10 −2 werden der Isotropteil der Geschwindigkeitsverteilungsfunktion der Elektronen eines anisothermen Argon‐Plasmas aus einer kombinierten Boltzmann‐ und Fokker‐Planck‐Gleichung zur Erfassung elastischer, anregender und Coulombscher Wechselwirkung nach einer Parameteriterationsmethode numerisch für stationäre homogene Bedingungen berechnet. Mit den gewonnenen Verteilungsfunktionen erfolgt gleichzeitig die Bestimmung des wesentlichsten Bilanzgrößen der Elektronen, wie mittlere kinetische Energie, Diffusionskoeffizient, Beweglichkeit, Transportstoßfrequenz, Stoßfrequenz für die Anregung, Stoßfrequenz für die Stufenionisation, elastische und anregende Energieverluste, sowie die Diskussion der erhaltenen Resultate. Ferner wird auf die sich aus den Resultaten der exakten Berechnungen ergebenden Aussagen bezüglich der Gültigkeitsgrenzen und Mängel analytischer Näherungsverfahren zur Lösung des Problems näher eingegangen.