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Zur Bestimmung des Zerstäubungskoeffizienten bei der Ionenätzung
Author(s) -
Mamaev G. I.,
Seidowski E.,
Ledovskoj V. P.
Publication year - 1979
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19790140811
Subject(s) - physics , humanities , materials science , philosophy
Die Berechnung des Wechselwirkungsquerschnitts bei der Ionenzerstäubung unter Anwendung einer allgemeinen Formel für die Streuung geladener Teilchen, die für beliebige Winkel gilt, erlaubt in Verbindung mit der Nikulin'schen Abschirmfunktion eine genauere Bestimmung des Zerstäubungskoeffizienten nach dem Kaskadenmodell. Die erhaltenen Werte befinden sich in guter Übereinstimmung mit dem Experiment.