Zur Frage der seitlichen Ionenstreuung bei der Implantation in amorphen und polykristallinen Festkörpern

In der Arbeit werden Gesetzmäßigkeiten für die seitliche Ionenstreuung in amorphen und polykristallinen Festkörpern angegeben. Im Unterschied zu bekannten Lösungen der LSS‐Theorie erlauben diese Gesetzmäßigkeiten die Berechnung der mittleren quadratischen seitlichen Ablenkung der Ionen bei beliebigen Massenverhältnissen von Targetatomen und auftreffenden Ionen in einem breiten Energiebereich, von einigen MeV bis zu Energiewerten nahe der Bindungsenergie der Atome im Festkörper. Die theoretischen Abschätzungen der mittleren quadratischen seitlichen Ionenablenkung befinden sich in guter Übereinstimmung mit experimentellen Werten verschiedener Autoren.