Zur Errechnung der Intensitäten von Auger‐Übergängen für die quantitative Analyse von Festkörperoberflächen mit der Augerelektronenspektroskopie (AES)

Gemäß einer empirischen Gleichung für die Intensität von charakteristischen Augerelektronen, die durch Primärelektronenbeschuß aus einer Festkörperoberfläche austreten, wurden die einzelnen Parameter Ionisierungsquerschnitt, relative Wahrscheinlichkeit des Augerprozesses, Rückstreufaktor und mittlere Austrittstiefe der Augerelektronen für den L 3 M 45 M 45 ‐Augerprozeß der Elemente mit den Ordnungszahlen Z = 22 bis 33 bestimmt. Ein Vergleich der berechneten relativen Intensitätswerte mit Meßwerten von Palmberg et al. zeigt die gute Übereinstimmung im allgemeinen Kurvenverlauf der ordnungszahlabhängigen Intensitäten. Die mittlere relative Abweichung der berechneten von den experimentellen Werten beträgt 20% und kommt damit den bisherigen Abschätzungen über die Genauigkeit der quantitativen AES ohne äußeren Standard nahe. Die Untersuchung des Einflusses der einzelnen Intensitätsparameter ergab, daß vor allem der Ionisierungsquerschnitt und im gegebenen Fall auch die relative Wahrscheinlichkeit des Augerprozesses den Intensitätswert bestimmen.