Matrixprobleme in der Augerelektronenspektroskopie von Cu‐Ag‐Legierungen verschiedener Zusammensetzung

Anhand der beiden Grenzfälle einer Cu–Ag‐Legierung mit sehr großem Ag‐ bzw. Cu‐Gehalt konnte die Konzentrationsabhängigkeit der matrixspezifischen Parameter Rückstreufaktor r und mittlere Austrittstiefe λ nachgewiesen werden. Die Quotienten r Cu / r Ag bzw. λ Cu /λ Ag unterscheiden sich für diese beiden Grenzfälle um etwa 4% bzw. 2%. Der Rückstreufaktor r wurde durch numerische Integration aus Rückstreuverteilungskurve N r ( E ) und Ionisierungsquerschnitt σ erhalten. – Der berechnete Empfindlichkeitsfaktor S Cu zeigt ebenfalls eine Konzentrationsabhängigkeit. Die Werte für S Cu weichen von einem Grenzfall zum anderen um etwa 6% ab. – Der Vergleich der berechneten Empfindlichkeitsfaktoren S Cu mit experimentell bestimmten Augerergiebigkeitsfaktroen 1/ K Cu von Braun und Färber verdeutlicht neben der Konzentrationsabhängigkeit den starken Einfluß der Probenvorbehandlungsmethoden auf 1/ K Cu . Die Feststellung von Färber für diesen Fall, daß das Sputtern als Vorbehandlung von einem Zweiphasensystem wie der Cu–Ag‐Legierung am besten geeignet ist, konnte bestätigt werden.