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Zur Thermodynamik des Systems Si–C–Cl–H und Darstellung von phasenreinem SiC
Author(s) -
Selbmann D.,
Wolf E.,
Schönherr M.,
Leonhardt A.
Publication year - 1978
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19780130411
Subject(s) - physics , materials science , chemistry , medicinal chemistry
Abstract Es wird ein Weg zur thermodynamischen Berechnung der Darstellungsbedingungen binärer und komplizierterer Verbindungen durch Gasphasenabscheidung beschrieben, und damit werden die Abscheidungsbedingungen der reinen SiC‐Phase im System Si–C–Cl–H sowie die Koabscheidungsbedingungen mit den benachbarten Phasen ermittelt. Die experimentelle Überprüfung der relative großen berechneten Darstellungsbereiche ergab insbesondere oberhalb 1700 K eine gute Übereinstimmung.