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Untersuchung dünner Isolatorschichten in Sandwich‐Anordnungen mit dem Elektronenspiegel‐Mikroskop
Author(s) -
Heydenreich J.,
Godehardt R.,
Vester J.
Publication year - 1978
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19780130403
Subject(s) - crystallography , physics , materials science , chemistry
Es werden bei Elektronenspiegel‐Untersuchungen von Au–SiO x –Ge‐Sandwich‐Systemen beobachtete charakteristische Bildstrukturen beschrieben, die durch Leitfähigkeitsinhomogenitäten in der Isolatorschicht hervorgerufen werden. Durch eine quantitative Auswertung der experimentellen Ergebnisse ist eine Abschätzung der Ausdehnung und der Stärke der Inhomogenitäten möglich.