Der Einfluß der Reaktorgeometrie auf die Si 3 N 4 ‐Abscheidung

Um die Abhängigkeit der unterschiedlichen Effizienz und kinetischen Verhältnisse, wie sie in Reaktoren unterschiedlicher Geometrie festgestellt wurden, erklären zu können, wurde das Modell der Thermodiffusion herangezogen. Der Trennfaktor q , abgeleitet aus der Diffusionsgleichung unter Einbeziehung der Thermodiffusion, gestattet halbquantitative Aussagen über die Vergleich‐ und Übertragbarkeit von Reaktoren. Weiterhin läßt sich mit diesem Modell die Temperaturabhängigkeit der Abscheiderate, die sich in den Reaktoren unterschied, erklären. Es ist zu schlußfolgern, daß das breite Spektrum der in der Literatur angegebenen Abscheideparameter bei ähnlichen physikalischen Schichteigenschaften auf der unterschiedlichen Reaktorgeometrie beruht.